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仪器分类：工艺试验仪器>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备
浏览量： 发布时间：
所在地：天津
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  • 产品详情
  • 服务评价
  • 成交记录

    • 仪器信息
    规格型号 :
    Mo Chamber
    设备原值 :
    229.98（万元）
    产地国别 :
    英国
    学科领域 :
    电子与通信技术
    技术指标 :
    1.*沉积速率：>200nm/min;2.*电阻系数：<10 u ohm cm;3.*同一硅片上的厚度不均匀性：<=1.5% (1Sigma);4.*硅片间的厚不均匀性：<=1.2% (1Sigma)
    主要功能 :
    微机电器件制备与研究
    服务信息
    服务内容 :
    MEMS器件制造
    收费标准 :
    电话沟通商议
    用户须知 :
    工作日
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      庞慰 

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